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高亮度发光二极管多层结构外延片电化学C-V测试分析

孙慧卿 , 范广涵 , 刘颂豪

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2004.04.030

本文介绍了利用ECV的方法测试分析双异质结多层结构外延片方法,在测试厚度、掺杂浓度、导电类型等材料的结构参数过程中,解决了外延片参数不稳定时的测试方法.

关键词: 光电子学 , ECV , 肖特基结 , 微分电容 , 电解液