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热丝辅助ECR CVD制备cBN薄膜

张生俊 , 陈光华

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2003.04.040

立方氮化硼(cBN)是一种具有广泛应用价值的Ⅲ-V族二元化合物,其优异性质可与金刚石相比拟或胜之.立方氮化硼的制备与性能研究是近二十年来材料领域关注的焦点之一.我们用热丝辅助ECR CVD方法制备了cBN薄膜,并初步探讨了热丝对cBN形成的作用.偏压并不是cBN形成的唯一主要条件,活性粒子也有非常关键的作用.

关键词: cBN , ECR CVD , 热丝

热丝辅助MW ECR CVD技术高速沉积高质量氢化非晶硅薄膜

周怀恩 , 陈光华 , 朱秀红 , 阴生毅 , 胡跃辉

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.03.019

氢化非晶硅薄膜具有优异的光电特性,在制备薄膜太阳能电池中有重要的应用.本文采用热丝辅助MWECR CVD技术,通过调整各种工艺参数,制备了高沉积速率(DR＞2.5nm/s)及高光敏性(σph/σD＞105)的氢化非晶硅薄膜.实验表明,在衬底表面温度的分布中,热丝辐射和离子轰击引起的温度对薄膜的光敏性影响较大;在薄膜沉积的最后几分钟适当加大H2稀释率,有利于薄膜光电特性的改善.

关键词: 氢化非晶硅 , 氢稀释率 , 电子回旋共振化学气相沉积 , 光敏性

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