王云
,
陈志
,
赵红卫
,
赵阳阳
,
孙良亭
,
杨尧
,
钱程
,
武启
,
马鸿义
,
张文慧
,
张子民
,
张雪珍
,
刘占稳
原子核物理评论
doi:10.11804/NuclPhysRev.30.02.141
为了提高强流ECR离子源的引出束流品质,分别设计了1#和2#引出系统,利用束流引出模拟软件PBGUNS对1#和2#引出系统进行了质子束流引出与传输的模拟计算,结合实际测得的发射度数据分析引出系统,发现2#引出系统比1#引出系统引出束流品质高。对ECR离子源引出系统的电势等位线分布等参数引起的球差进行了简单数学推导及MATLAB绘图,并结合1#和2#引出系统束流相图模拟结果证明了球差会使引出束流品质有效发射度增长,通过适当加大电极孔径可改善束流聚焦情况,得到了束流光学聚焦较好的束流引出系统设计。
关键词:
ECR
,
束流引出系统
,
电势等位线分布
,
球差
程华
,
王萍
,
崔岩
,
吴爱民
,
石南林
材料研究学报
以Ar+SiH_4作为反应气体,采用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)方法制备微晶硅薄膜,研究了基片温度对薄膜微观结构、吸收系数、光学禁带宽度的影响。结果表明,随着基片温度的升高,薄膜的微观组织逐渐由非晶转化为微晶,薄膜的粗糙度单调增大,而H含量则单调减小。薄膜的光学吸收系数随基片温度的升高而增大,禁带宽度由1.89 eV降低到1.75 eV。
关键词:
材料合成与加工工艺
,
微晶硅薄膜
,
ECR
,
PECVD
,
吸收系数
,
光学带隙