师晓燕
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蒲明华
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王文涛
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赵勇
稀有金属材料与工程
采用无氟金属有机物沉积法(MOD)在(00l)取向的LaAlO_3 单晶基底上制备出DyBa_2Cu_3O_(7-x)(DyBCO)超导薄膜.由于采用了无氟金属有机物体系,分解过程中避免了采用传统的三氟醋酸盐时有害气体的产生.SEM分析表明,成相过程中增加高温热处理过程,可以明显提高外延生长薄膜的质量.X射线衍射(XRD)分析及φ扫描的结果表明,经过高温处理的DyBCO薄膜具有良好的面内外织构.本研究制备的DyBCO薄膜的超导转变温度达92 K,77 K自场下的临界电流密度达到1.8 MA/cm~2.
关键词:
无氟MOD
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高温热处理
,
DyBCO薄膜
