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退火对二氧化钛薄膜光学性能的影响

王军 , 谢亚楠

绝缘材料 doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2011.06.011

采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)法在载玻片上制备了TiO2薄膜.对TiO2干凝胶粉末进行了差热分析(DTA);用分光光度计测试了TiO2薄膜500℃退火前后的透射谱,采用“包络法”计算了TiO2薄膜的折射率、厚度和带隙.结果表明:当波长从700 nm减小到400 nm时,薄膜的折射率从1.465增加到1.485.退火前后TiO2薄膜的厚度分别为595.836 nm和652.454 7 nm.未退火TiO2薄膜的光学带隙为3.85 eV,500℃退火后TiO2薄膜的光学带隙为3.67 eV.与未退火薄膜相比,500℃退火后TiO2薄膜的吸收边出现了“红移”,光响应区范围变大,提高了可见光的利用率.

关键词: TiO2薄膜 , 溶胶-凝胶法 , DTA分析 , 透射谱

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