L.Chen
,
Z.Y.Liu
,
D.C.Zeng
,
W.Q.Qiu
,
Z.H.Yuan
,
S.S.Lin
,
H.J.Hou
金属学报(英文版)
DLC super-hard films have been deposited on the substrates of single crystalline Si, pure Ti and stainless steel 18-8 by a method of vacuum cathode arc deposition (VCAD). The composition, microstructure and micro-hardness of the films have been studied in this paper. The results indicate that hardness of the DLC films is different on the different substrates. Hardness of the films increases with decreasing in surface roughness of the films. The maximum value of micro-hardness belongs to the DLC films deposited under the hydrogen pressure of 0.35Pa and the neqative bias of 100V.
关键词:
DLC films
,
null
,
null
王顺花
,
尚伦霖
,
张广安
,
耿中荣
,
刘千喜
宇航材料工艺
doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2014.06.005
采用闭合场非平衡直流磁控溅射技术和阴极电弧离子镀技术在轴承钢表面分别制备了DLC和CrN薄膜,在全配方发动机油(CF-4,15W/40)润滑条件下,选择DLC/钢、CrN/钢摩擦配副,用SRV-Ⅳ摩擦实验机考察了25℃和100℃时DLC与CrN薄膜在不同载荷下的摩擦因数和磨损率,并对摩擦界面进行分析.结果表明:DLC和CrN薄膜在油润滑条件下的摩擦因数都随着载荷的增加而降低;DLC和CF-4构成的固液复合润滑体系具有更加优异的摩擦学性能;活性较高的CrN薄膜与发动机油中的添加剂相互作用,在摩擦界面上发生摩擦化学反应形成摩擦化学反应膜,并且薄膜表面形成的氧化层有利于提高薄膜在高温时的耐磨性.
关键词:
DLC薄膜
,
CrN薄膜
,
摩擦因数
,
磨损率
,
摩擦学性能
,
固液复合润滑
,
摩擦化学反应
马垒
,
刘仲武
,
曾德长
,
钟夏平
,
成钢
稀有金属材料与工程
采用直流磁控溅射技术,在n-Si (100)衬底上制备了CoxC100-x(x=2.5～50,at％)颗粒膜,并对薄膜的结构、形貌、磁性能和巨磁电阻(GMR)效应做了系统的研究.结果表明:制备态的Co-C薄膜为非晶结构,且表面光滑、颗粒尺寸及膜厚度均匀；随热处理温度的增加,Co成分在300℃逐渐开始晶化,400℃基本晶化完全,500℃度的时候膜层开始出现裂纹；拉曼光谱显示制备态薄膜为类金刚石(DLC)薄膜；X射线光电子能谱(XPS)分析表明,包埋在碳基薄膜中的Co掺杂纳米颗粒以单质形态存在,没有Co的碳化物出现,且Co掺杂没有促进碳膜的石墨化,Co-C纳米复合薄膜组成了一个互不相溶的金属/绝缘体体系；磁性能测试显示薄膜的饱和磁化强度(Ms)和矫顽力(Hc)与Co的含量和颗粒的晶化程度有密切关系；磁电阻测量结果表明Co2.5C97.5薄膜具有高达36％的正GMR效应,GMR效应遵循输运通道的转变机制.
关键词:
颗粒膜
,
DLC膜
,
GMR效应
,
磁控溅射
孙丽丽
,
张栋
,
陈仁德
,
柯培玲
,
许辉
,
汪爱英
材料研究学报
应用线性离子束复合磁控溅射技术在不锈钢和硅片基体上制备DLC膜,研究了基体偏压和过渡层的厚度和结构对DLC薄膜结构和性能的影响.结果表明,在过渡层相同偏压为-200V的条件下,薄膜中的sp3键含量更低,但是薄膜结构致密性的提高使其硬度和膜基结合力反而提高;在偏压为200 V的条件下,随着过渡层厚度及层数的增加DLC薄膜中sp3含量均降低,同时过渡层和多层薄膜的硬度减小;在偏压为100 V条件下,过渡层厚度和层数对DLC薄膜sp3的含量没有明显的影响.当过渡层厚度为1.7μm、结构为Cr/CrC时,在11Cr17不锈钢基体上可制备出厚度为4.92μm、硬度为29.4 GPa、摩擦系数小于0.1、结合力高于70N综合性能最佳的DLC薄膜.
关键词:
无机非金属材料
,
DLC膜
,
不锈钢
,
结合力
,
硬度
