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真空电弧离子镀膜方法沉积类金刚石膜在PMMA树脂义齿表面的应用

钱天才 , 杨喜昆 , 马丽丽

功能材料

采用电弧离子镀膜方法,以高纯石墨为碳离子源在PMMA树脂义齿表面沉积类金刚石膜.应用xps谱和Raman谱对膜层的结构进行了理论分析,对镀膜样品进行了抗磨性能实验、病理实验和临床实验.结果表明:为了提高样品的膜基结合强度,必须在DLC膜与基材之间增镀一层钛氧化物作为过渡层,必须严格控制工作电压、工作室的真空度和气氛配比.

关键词: 真空电弧沉积 , DCJ膜 , PMMA树脂义齿