汪渊
,
李晓华
,
宋忠孝
,
徐可为
,
尉秀英
稀有金属材料与工程
以不同温度真空原位退火工艺为手段,促使制备在单晶Si(100)和Al2O3基底上的Cu-W薄膜发生相变.用X射线衍射(XRD)分析晶体取向,偏振相位移技术分析薄膜残余应力.结果表明,随退火温度变化,薄膜相变呈现连续变化,由初始的非晶态晶化,出现类W的亚稳态固溶体相,以及随退火温度的进一步增加,发生Spinodal分解,亚稳固溶体完全分解为W和Cu两相.薄膜发生相变时产生拉应力作用,而在晶粒生长阶段,拉应力释放.
关键词:
Cu-W薄膜
,
相变
,
残余应力
,
真空退火
汪渊
,
陈元华
,
徐可为
,
马栋林
,
范多旺
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2005.02.003
提出了-种基于离散小波变换和分形几何概念定量描述薄膜表面形貌各向异性的新方法,并据此研究了磁控溅射Cu-W薄膜表面结构特征随退火温度的演变.结果表明,薄膜表面聚合过程有两个不同阶段:孔洞处形核和颗粒生长;薄膜表面形貌分形维数可很好地描述表面粗化程度.研究发现,表面形貌各向异性变化趋势对相结构变化敏感.指出这种结合小波变换和分形几何概念表征薄膜表面形貌的方法,可以较灵敏地探测到Cu-W薄膜表面结构各向异性变化.
关键词:
Cu-W薄膜
,
表面各向异性
,
相结构
,
小波变换和分形
汪渊
,
陈元华
,
徐可为
,
马栋林
,
范多旺
金属学报
提出了一种基于离散小波变换和分形几何概念定量描述薄膜表面形貌各向异性的新方法,
并据此研究了磁控溅射Cu--W薄膜表面结构特征随退火温度的演变. 结果表明, 薄膜表面
聚合过程有两个不同阶段: 孔洞处形核和颗粒生长; 薄膜表面形貌分形维数可很好地描
述表面粗化程度. 研究发现, 表面形貌各向异性变化趋势对相结构变化敏感. 指出这种结
合小波变换和分形几何概念表征薄膜表面形貌的方法, 可以较灵敏地探测到Cu--W薄膜
表面结构各向异性变化.
关键词:
Cu-W薄膜
,
null
,
null
