蒋百灵
,
曹政
,
鲁媛媛
,
栾亚
材料热处理学报
采用Langmuir探针测定了不同磁场闭合状态下辉光放电环境中的电子温度(Te)、电子密度(ne)及离子密度(ne)空间分布状态,探讨了磁场闭合度对CrNx镀层沉积效率的影响机理.结果表明:三种磁场闭合状态下,电子温度都在靶面处最高,相邻靶间对称面最低,真空腔内部出现一个直径约240 mm的均匀中心区域;电子密度和离子密度在三种条件下均于真卒腔中心处最高,边缘处最低,而随磁场闭合度的整体变化规律表现为这两个参数值在不闭合状态时小于半闭合和完全闭合状态时;完全闭合状态下镀层的厚度明显大于半闭合和不闭合状态下的镀层厚度.
关键词:
磁场闭合状态
,
电子温度
,
电子密度
,
离子密度
,
CrNx镀层
曹政
,
蒋百灵
,
鲁媛媛
,
王涛
材料研究学报
使用具有不同非平衡度的磁控管直流磁控溅射技术沉积CrNx镀层,并用Langmuir探针诊断、高斯仪测量、Ansys软件模拟等手段进行表征,研究了磁场非平衡度对溅射等离子体的空间分布状态以及CrNx镀层的微观结构、硬度及摩擦性能的影响.结果表明:低非平衡度磁控管(K为2.78)将多数离子束缚在靶材表面大约6 cm范围内,而对于高非平衡度磁控管(K为6.41)则在此区域没有类似的高密度等离子体存在.随着磁场非平衡度的增大,CrNx镀层的厚度递增,物相结构也从Cr+Cr2N依次向Cr+Cr2N+CrN和Cr2N+CrN转化,且镀层的平整度和致密性随之明显改善.同时,CrNx镀层的硬度随着非平衡度的增大而提高,摩擦系数则随之减小.
关键词:
无机非金属材料
,
CrNx镀层
,
非平衡度
,
离子轰击
曹政蒋百灵鲁媛媛王涛
材料研究学报
使用具有不同非平衡度的磁控管直流磁控溅射技术沉积CrNx镀层, 并用Langmuir探针诊断、高斯仪测量、Ansys软件模拟等手段进行表征, 研究了磁场非平衡度对溅射等离子体的空间分布状态以及CrNx镀层的微观结构、硬度及摩擦性能的影响。结果表明: 低非平衡度磁控管(K为2.78)将多数离子束缚在靶材表面大约6 cm范围内, 而对于高非平衡度磁控管(K为6.41)则在此区域没有类似的高密度等离子体存在。随着磁场非平衡度的增大, CrNx镀层的厚度递增,物相结构也从Cr+Cr2N依次向Cr+Cr2N+CrN和Cr2N+CrN转化, 且镀层的平整度和致密性随之明显改善。同时, CrNx镀层的硬度随着非平衡度的增大而提高, 摩擦系数则随之减小。
关键词:
无机非金属材料
,
CrNx coating
,
unbalance coefficient
,
ion bombardment
