种艳琳
,
蒋白灵
,
白力静
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.02.026
采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在PCB微钻上进行复合金属镀层处理,通过与无镀层微钻进行钻削试验对比,结果表明:CrAlTiN镀层微钻使用寿命与无镀层微钻相比,寿命可提高3倍;具有纳米结构的高硬度镀层显著提高了微钻的耐磨性.
关键词:
闭合场
,
非平衡
,
磁控溅射
,
离子镀
,
CrAlTiN镀层
,
PCB微钻
,
寿命
,
耐磨性
陈迪春
,
蒋百灵
,
吴文文
,
李洪涛
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2008.02.003
使用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术,通过改变偏压在镁合金表面制备了CrAlTiN镀层,对镀层厚度、硬度、结合力和耐磨性进行了检测,使用SEM和XRD分析了镀层的形貌和相组成,结果表明:通过改变偏压可以在镁合金表面沉积一层具有一定耐磨性能的CrAlTiN镀层;偏压对镁基CrAlTiN镀层的结合力和耐磨性影响很大,在偏压为35V时具有最好的结合力和耐磨性能,随着偏压的增大,镀层硬度提高,致密性增强,厚度降低;镁基CrAlTiN镀层为柱状晶组织,具有面心立方结构,点阵类型与面心立方CrN相同.
关键词:
镁合金
,
磁控溅射
,
偏压
,
CrAlTiN镀层
