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磁控溅射CrAlCN涂层的结构与性能研究?

郭盛 , 熊计 , 赵海波 , 杜昊 , 鲜广

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.07.016

采用离子化增强磁控溅射设备在硬质合金(YG8)基体表面沉积CrAlCN 涂层，通过控制碳靶电流的大小，从而改变涂层中的碳含量。沉积后的涂层进行了纳米硬度、扫描电镜、X射线衍射、电子能谱和洛氏硬度结合力检测。随着碳靶电流的升高，涂层中的碳含量呈线性上升，涂层由晶态逐渐转变为非晶态，当涂层中的碳含量达到某个临界值时，超过临界值的碳以脆性非晶态继续沉积在涂层表面，其硬度低，韧性差，导致涂层的结合力与硬度下降。

关键词: CrAlCN涂层 , 磁控溅射 , 硬质合金基体 , 碳靶 , 结合力