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多弧离子镀Cr涂层对γ-TiAl合金高温氧化性能的影响

魏祥飞 , 张平则 , 魏东博 , 周鹏 , 张扬 , 陈小虎 , 王琼 , 王若男

稀有金属材料与工程

采用多弧离子镀技术在γ-TiAl合金表面制备Cr涂层,用SEM/EDS和XRD等手段研究了该涂层对γ-TiAl合金在高温下氧化性能的影响.结果表明,涂层在高温下可形成保护性氧化膜,氧化膜主要分为内外两层,其中外层氧化膜在650℃下主要为Cr2O3,在750℃下为TiO2,在950℃为Al2O3,内层氧化膜均为Ti-Al-Cr的混合氧化膜,Ti-Al-Cr 的互扩散层可有效阻止氧向基体扩散,显著提高了γ-TiAl的抗高温氧化能力.

关键词: γ-TiAl合金 , 多弧离子镀技术 , Cr镀层 , 高温氧化

磁场闭合状态对磁控溅射Cr镀层沉积效果的影响差异分析

蒋百灵 , 曹政 , 丁小柯 , 鲁媛媛

材料科学与工程学报

采用磁场完全闭合状态和不闭合状态两种磁场组态分别沉积Cr镀层,并利用Langmuir探针诊断其放电等离子体,测量了离子密度、电子密度和电子温度(EED)在两种磁场组态中的分布规律.结果表明:磁场不闭合状态时的等离子体密度较低,而完全闭合状态显著增加了真空腔中部的带电粒子数目.两种不同磁场组态中Cr镀层的沉积速率在靶电流相同的情况下相近.其中不闭合状态的Cr镀层截面为粗大而疏松的柱状结构,表面较粗糙;而完全闭合状态的镀层的柱状生长受到阻碍,表面光滑、平整,致密性好.

关键词: 完全闭合状态 , 不闭合状态 , Langmuir探针 , Cr镀层 , 离子轰击

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