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CoPt和CoPt/Ag合金薄膜的结构和磁性能

杨治广 , 许小红 , 武海顺

稀有金属材料与工程

用磁控溅射法在玻璃基片上制备了具有等原子比组成的不同厚度的CoPt薄膜及不同Ag底层厚度的CoPt/Ag薄膜.真空退火后的结果表明,膜厚对CoPt薄膜的微观结构和磁性能有着重要的影响,膜厚较薄时(δ≤15 nm)有利于易磁化轴(c轴)垂直于膜面取向,从而具有高的垂直磁各向异性;Ag底层可以诱导Ll0-CoPt相的形成并使c轴垂直择优取向,且Ag底层越厚其诱导效应越强.

关键词: CoPt薄膜 , 厚度 , Ag底层 , 结构 , 磁性能