蒋洪川
,
张万里
,
张金平
,
张文旭
,
彭斌
,
杨仕清
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2003.05.030
为了提高永磁薄膜阵列的剩磁和最大磁能积, 在电镀制备CoNiMnP永磁薄膜阵列过程中引入少量稀土Nd原子替代部分Ni原子, 采用光刻和电镀技术在5 mm×5 mm×0.2 mm的硅片上设计并制备了2000个大小为50 μm×50 μm的CoNi1-xNdxMnP垂直各向异性永磁薄膜阵列, 并对该薄膜...
关键词:
CoNi1-xNdxMnP永磁薄膜
,
电镀
,
垂直各向异性
