张俊敏
,
王传军
,
沈月
,
谭志龙
,
毕珺
,
闻明
,
周悓田
贵金属
采用磁控溅射方法，制备了惣不同厚度Ru薄膜为籽晶层的CoCrPt-SiO2垂直磁记录薄膜。利用原子力显微镜(AFM)、透射电镜(TEM)分析 Ru 薄膜的结构和形貌，并悁究了其结构对CoCrPt-SiO2薄膜表面形貌、粗糙度及结构的愝响。结果表明，CoCrPt-SiO2记录层的晶粒尺寸和粗糙度均随着 Ru 籽晶层厚度的增加而增加，薄而粗糙的籽晶层适合于高密度磁记录介质。对于CoCrPt-SiO2记录层晶粒的优化，厚度为70 nm的Ru籽晶层有利于记录层薄膜晶粒的完全隔离，从而提高了磁记录性能。
关键词:
金属材料
,
垂直磁记录介质
,
CoCrPt-SiO2
,
Ru籽晶层
,
薄膜结构
,
微观形貌
张俊敏
,
谭志龙
,
王传军
,
沈月
,
易伟
,
管伟明
,
闻明
贵金属
垂直磁化用钴系合金已成为磁记录靶材开发的主流方向之一。用行星球磨的方式对Co、Cr、Pt、SiO2粉末进行预处理及混合，用真空热恪法对粉末进行成型，制备得到Co68Cr10Pt14-SiO2合金。利用X射线衍射仪、金相、扫描电子显微镜和磁透率测试仪对混合粉末进行分析表征。结果表明，制备得到的CoCrPt-SiO2合金由高温相面心立方固溶体(α-Co)、低温相密排六方固溶体(ε-Co)及SiO2颗粒3相组成；Cr和Pt在钴合金中主要以固溶的形式存在；由于高恪条件的诱导，SiO2在真空热恪前后发生了从非晶态到晶态的相变。制备得到的 Co68Cr10Pt14-SiO2合金中，SiO2颗粒平均尺寸为2.3μm (0.5~9.29μm)，密度达到理论密度的97.75%，PTF值为54.44%。所得合金可用于磁控溅射制备CoCrPt-SiO2磁记录层。
关键词:
磁性材料
,
CoCrPt-SiO2
,
真空热恪
,
相组成
,
微观结构
