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Cr和CrTi底层对CoCrPt薄膜介质的磁和结构性能的影响

李佐宜 , 游龙 , 宋敏 , 杨晓非 , 李震 , 程晓敏 , 林更琪

稀有金属材料与工程

为了改善记录介质的磁性能,研究了溅射Cr和CrTi底层对Co68Cr17Pt15性能的影响.发现在玻璃盘基和CoCrPt磁性层之间引入100 nm厚的Cr底层,可使介质矫顽力从56 kA·m-1增加到127 kA·m-1,同时剩磁比和矫顽力矩形比分别增加66%和74%.同时还发现Cr底层厚度对介质磁性能有较大影响.考虑到减小Cr底层和磁性层的晶格匹配,在Cr底层里添加Ti元素,当Ti原子分数达到1.5%时,即使在室温下溅射,薄膜也有好的面内磁滞回线,此时矫顽力可达到160 kA·m-1.X射线衍射表明在介质中引入Cr和CrTi底层,由于薄膜能更好的沿着垂直于易磁化轴方向生长而使介质性能提高.

关键词: 底层 , 磁性能 , CoCrPt薄膜

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