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陈松 , 耿永红 , 王传军 , 闻明 , 张俊敏 , 毕珺 , 李艳琼 , 谭志龙 , 张昆华
贵金属
目前在高密度磁记录薄膜中大量使用到CoCrPt系溅射靶材.重点介绍了CoCrPt系磁性靶材国内外发展现状,靶材制备中的主要工艺以及质量控制内容和方法,最后分析了存在的技术难点和需要解决的问题.
关键词: 金属材料 , 粉末冶金 , CoCrPt , 溅射靶材 , 熔铸法 , 质量控制
