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磁控溅射Co1-x-Ptx薄膜晶体的结构与磁性能

肖娜 , 杨波 , 裴文利 , 赵骧 , 秦高梧

材料与冶金学报 doi:10.3969/j.issn.1671-6620.2010.02.008

通过磁控溅射制备了一系列不同成分的Co-Pt二元合金薄膜,并利用振动样品磁强计(VSM)和X-射线衍射技术(XRD)研究了Pt含量对薄膜磁性能和晶体结构的影响.结果表明:Pt的摩尔分数在0~28.5 %范围内,薄膜均为密排六方结构(HCP);Co-Pt薄膜的晶格常数(c,a)随Pt含量的增加呈线性增大趋势,但其c/a的值却先减小后增大;矫顽力则先增大后减小,在Pt的摩尔分数为20%时达到最大值(156.89 kA/m);饱和磁化强度随Pt含量的增加而单调减小.

关键词: Co-Pt合金 , 磁晶各向异性 , 晶格常数

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