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Ce-Mn合金低温抛光CVD金刚石厚膜

孙玉静 , 王树彬 , 田莳 , 史晓宇

稀有金属材料与工程

研究开发了一种低温、快速抛光化学气相沉积(CVD)金刚石厚膜的新技术,该技术是利用金刚石(C)和溶碳活性很高的稀土金属铈(Ce)和过渡金属锰(Mn)所熔炼出的Ce-Mn合金之间的热化学反应,在一定的工艺条件下对金刚石厚膜进行有效的抛光.详细讨论了合金组成对抛光速率和表面粗糙度(Ra)的影响,并且用扫...

关键词: CVD金刚石膜 , Ce-Mn合金 , 抛光 , 表面粗糙度