周昊
,
介万奇
,
查钢强
,
高俊宁
功能材料
采用真空蒸发沉积技术在ITO玻璃上制备得到CdZnTe纳米晶薄膜,并利用台阶仪、X射线能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)研究了CdZnTe薄膜厚度、成分、结构和形貌特征.实验结果表明,薄膜在(111)面表现出明显的择优生长特性.在薄膜生长初期,纳米薄膜中存在一定程度的非晶态富集Te,但随着沉积时间延长,薄膜成分向化学计量比逼近,结构也向闪锌矿CdZnTe转变.薄膜表面形貌平整,粗糙度R_a约为2～5nm.随着沉积时间的延长,薄膜形貌由晶粒堆砌状向多晶层片连接状转变.在沉积时间分别为15、30和45min时,薄膜的厚度依次分别约为100、300和500nm,而薄膜的晶粒平均尺寸依次分别为43.15、30.81和71.94nm.
关键词:
CdZnTe薄膜
,
纳米
,
结构
,
形貌
曾冬梅
,
周海
,
卢一民
,
杨英歌
功能材料
采用Cd0.9Zn0.1Te晶体作为溅射靶在玻璃衬底上利用磁控溅射法制备出CdZnTe薄膜,研究了溅射功率对CdZnTe薄膜的成分、结构特性的影响。制备的CdZnTe薄膜是具有闪锌矿结构的多晶薄膜,沿（111）择优取向。随着溅射功率的增大,薄膜沉积速率增大,薄膜结晶质量提高。采用晶体靶Cd0.9Zn0.1Te溅射CdZnTe薄膜时,无论是在何种功率下CdZnTe薄膜中的Cd原子成分均高于Te原子成分,Cd原子表现为择优溅射原子。
关键词:
磁控溅射
,
溅射功率
,
CdZnTe薄膜
