张津
功能材料
利用射频反应溅射法在玻璃衬底上在Ar和O2气氛中从Cd-In合金靶上制备出了CdIn2O4薄膜.实验结果表明退火处理对CdIn2O4薄膜的光电性质有重要的影响.退火处理进一步降低了CdIn2O4膜的电阻率,在可见光区域内该膜的最高光透射率超过了90%.研究还发现CdIn2O4膜电阻在CO气氛中十分敏感的发生变化,并且提高温度和在膜上生长不连续的Pt粒子可进一步增强气敏特性.实验研究还表明CdIn2O4膜气敏传感器响应时间比通用的气敏元件快得多.
关键词:
CdIn2O4薄膜
,
退火处理
,
电阻率
,
气敏性
王蜀霞
,
王万录
,
廖克俊
稀有金属材料与工程
研究了射频反应溅射三元化合物CdIn2O4薄膜的电学和光学性质,讨论了反应气体中氧气浓度和热处理对CdIn2O4薄膜红外反射率的影响,实验结果表明,CdIn2O4薄膜在红外区域具有很高的反射率,是一种极好的红外反射膜.用它作为冰箱内保温膜和室内及冷库保温窗玻璃,效果十分明显,是一种极好的保温和节能膜.
关键词:
光电特性
,
CdIn2O4薄膜
,
射频反应溅射
