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CVD金刚石厚膜刀具材料研究进展

邓福铭 , 李文铸 , 齐仲甫 , 李亚军

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2001.02.026

本文对CVD金刚石厚膜刀具材料的制备技术及后加工工艺,VCD金刚石厚膜刀具材料的研究现状和发展前景进行了简要的综述.

关键词: CVD金刚石厚膜 , 切割 , 钎焊 , 抛光

稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜的刻蚀

王佳宇 , 金爱子 , 白亦真 , 纪红 , 金曾孙

无机材料学报

ＣＶＤ金刚石厚膜具有极高的硬度，使得对其进行表面抛光极为困难．传统的机械抛光方法既不经济又耗费时间，而一些新的抛光技术又由于实验条件限制而难以推广．针对以上情况，我们寻求到一种新的化学刻蚀方法，即利用稀土化合物浆料对金刚石厚膜生长表面进行刻蚀，破坏表面的晶粒使之成为晶骸，降低表面的耐磨性，以提高表面粗糙的金刚石厚膜的抛光效率．

关键词: CVD金刚石厚膜 , etching , rare-earth compound ink

大尺寸CVD金刚石厚膜的制备及应用

王兵 , 冉均国 , 梅军 , 李力 , 季锡林

无机材料学报

采用电子辅助化学气相沉积法（ＥＡＣＶＤ）制备了直径１２０ｍｍ、厚度１ｍｍ以上的大尺寸金刚石厚膜，这是国内已见报道的最大成膜尺寸．ＳＥＭ和Ｒａｍａｎ光谱分析表明它是一种纯晶质的多晶金刚石材料；其硬度接近天然金刚石，远高于聚晶金刚石．将这种材料加工成拉丝模具，现场拉丝结果表明其拉丝效果与天然金刚石和进口优质聚晶相当，优于国产聚晶．用这种金刚石制成的拉丝模具可广泛用于拉制钨、钼、铜和不锈钢丝．

关键词: CVD金刚石厚膜 , electron assistant , wire die

CVD金刚石厚膜的稀土化合物浆料刻蚀

王佳宇 , 白亦真 , 陈宏宇 , 吕宪义 , 金曾孙 , 纪红

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.006

与现有的金刚石膜抛光工艺相匹配的高效刻蚀技术，是目前研究的热点。自行研制的稀土 化合物浆料对CVD金刚石厚膜进行了刻蚀研究，刻蚀过程在低于金刚石氧化点的温度下和大气 环境中完成。其刻蚀结果，用扫描电子显微镜给出。实验表明,该工艺采用廉价的稀土化合物为 原料，具有简单、安全、高效的特点。

关键词: CVD金刚石厚膜 , 刻蚀 , 稀土化合物浆料

稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜的刻蚀

王佳宇 , 金爱子 , 白亦真 , 纪红 , 金曾孙

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2002.01.030

CVD金刚石厚膜具有极高的硬度,使得对其进行表面抛光极为困难.传统的机械抛光方法既不经济又耗费时间,而一些新的抛光技术又由于实验条件限制而难以推广.针对以上情况,我们寻求到一种新的化学刻蚀方法,即利用稀土化合物浆料对金刚石厚膜生长表面进行刻蚀,破坏表面的晶粒使之成为晶骸,降低表面的耐磨性,以提高表面粗糙的金刚石厚膜的抛光效率.

关键词: CVD金刚石厚膜 , 刻蚀 , 稀土化合物浆料

大尺寸CVD金刚石厚膜的制备及应用

王兵 , 冉均国 , 梅军 , 李力 , 季锡林

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2002.02.034

采用电子辅助化学气相沉积法(EACVD)制备了直径120mm、厚度1mm以上的大尺寸金刚石厚膜,这是国内已见报道的最大成膜尺寸. SEM和Raman光谱分析表明它是一种纯晶质的多晶金刚石材料;其硬度接近天然金刚石,远高于聚晶金刚石.将这种材料加工成拉丝模具,现场拉丝结果表明其拉丝效果与天然金刚石和进口优质聚晶相当,优于国产聚晶.用这种金刚石制成的拉丝模具可广泛用于拉制钨、钼、铜和不锈钢丝.

关键词: CVD金刚石厚膜 , 电子辅助 , 拉丝模具

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