黄俊
,
魏珂
,
刘新宇
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.02.017
对AlGaN/GaN HEMT栅槽低损伤刻蚀技术进行研究,通过加入小流量的具有钝化缓冲作用的C2H4,对Cl2/Ar/C2H4的工艺条件进行了优化,有效地降低了栅槽刻蚀造成的AlGaN表面损伤和器件退化,同时防止反应生成物淀积在栅槽表面,改善了肖特基结特性,提高了栅极调控能力,实现凹栅槽的低损伤刻蚀.
关键词:
AIGaN/GaN
,
HEMT
,
凹栅槽
,
低损伤刻蚀
,
C2H4
丁开翔
,
孙保民
,
王阳
,
郭永红
,
康志忠
人工晶体学报
采用火焰法,并使用Fe/Mo/Al2O3型载体催化剂,催化裂解乙烯制备了碳纳米管,并对取样时间和乙烯气体流量进行了实验探究.结果表明:取样温度保持1000℃,He和H2气体流量保持为经验配比He∶H2=2∶3时,取样时间越长,生成的碳纳米管数量也越多,而取样时间达到7 min时,碳纳米管的数量已经基本稳定;乙烯气体流量为0.2 L/min时,生成的碳纳米管在质量和数量上都达到较佳,乙烯流量偏低或者偏高都不利于碳纳米管的生成;实验中制备的碳纳米管以双壁或者少壁的多壁碳纳米管为主,没有单壁碳纳米管生成.
关键词:
火焰法
,
碳纳米管
,
乙烯
,
取样时间
,
气体流量
丁开翔
,
孙保民
,
郭永红
,
贾小伟
,
王阳
,
康志忠
人工晶体学报
研究了600℃/700℃/800 ℃/900℃/1000℃五组催化剂焙烧温度和980℃/1050℃/1100℃三组乙炔火焰温度变化对火焰法催化裂解乙烯制备碳纳米管的影响.发现不同的催化剂焙烧温度和乙炔焰温度对合成产物影响突出,两者均存在致使产量最大的温度工况,但在产物准直度和管径均匀度等方面有些工况的表现较佳.
关键词:
碳纳米管
,
乙烯
,
火焰法
,
焙烧温度
,
火焰温度
