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反应离化团束(RICB)法生长CN硬质薄膜

谢俊清 , 冯嘉猷 , 郑毅

材料研究学报

用反应离化团束(RICB)法,以低分子量聚乙烯为蒸发材料,氨气为反应气体,在NaCl(100)和Si(100)衬底上淀积C—N薄膜。透射电子衍射(TEM)分析表明薄膜中含有β—C3N4晶粒,X射线光电子谱(XPS)和红外吸收谱(IR)表明薄膜中存在C、N原子的化学键合。

关键词: 离化团束 , null