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Sol-Gel法制备Ba_xSr_1-xTiO₃铁电薄膜化学机制的探讨

金承钰 , 丁永平 , 孟中岩

无机材料学报

用ＦＴＩＲ分析，结合ＤＳＣ、ＸＲＤ、ＡＦＭ实验结果，展示了ｓｏｌ－ｇｅｌ法制备Ｂａ_ｘＳｒ_１－ｘＴｉＯ_３（ＢＳＴ）薄膜热演化过程的化学机制．研究表明：螯合剂ＨＡＣＡＣ的引入减缓钛醇盐水解速率、改善晶化途径、降低结晶起始温度，从而制得了晶化完善、致密无裂纹的ＢＳＴ薄膜．

关键词: BST薄膜 , sol-gel method , FTIR , DSC , XRD , AFM

Sol-Gel法制备 BaxSr1-xTiO3铁电薄膜化学机制的探讨

金承钰 , 丁永平 , 孟中岩

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.02.015

用FTIR分析, 结合DSC、XRD、AFM实验结果，展示了sol-gel法制备 BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜热演化过程的化学机制. 研究表明：螯合剂HAcAc的引入减缓钛醇盐水解速率、改善晶化途径、降低结晶起始温度，从而制得了晶化完善、致密无裂纹的BST薄膜.

关键词: BST薄膜 , sol-gel工艺 , FTIR , DSC , XRD , AFM

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