周紫卓
,
王伟
,
谈惠祖
,
孙晓玮
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.01.011
本文结合功能材料Al_2O_3和BCB(苯并环丁烯树脂)的特点,创新性地提出了Si/Al_2O_3/BCB多层薄膜复合结构的衬底,利用Al_2O_3高介电常数的优点和BCB薄膜工艺制备厚度的灵活性实现了低传输损耗.本研究采用与CMOS相兼容的半导体制造工艺在三种不同衬底(Si、Si/BCB和Si/Al_2O_3/BCB)上制作了CPW结构的传输线,通过仿真、测量、比较和分析其传输损耗特性得出Si/Al_2O_3/BCB多层薄膜复合结构衬底有效地降低了普通硅衬底的高频损耗(20GHz时CPW传输线的损耗为1. 18dB/mm),实现了微波毫米波电路低损耗传输线,具有广泛的应用前景.
关键词:
Al_2O_3
,
BCB
,
CPW
,
传输损耗
王姣
,
唐先忠
,
赵松楠
,
李元勋
材料导报
光敏苯并环丁烯(BCB)以其优良的电特性、极低的吸水率以及能够大大简化器件制造工艺等优点成为微电子领域特别是用于多芯片组件(MCM)最理想的绝缘介质材料.介绍了目前光敏BCB的研究现状及应用情况,分析了两种常用的光敏BCB的结构和合成方法,并提出了一种新型光敏BCB的设计思路.
关键词:
光敏
,
BCB
,
合成
,
分子设计
