郭淑兰
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李佳
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吕苏华
功能材料与器件学报
本文采用x射线衍射法对溶胶-凝胶法备制B位掺杂Zr的铁电薄膜Bi3.15Nd0.85Ti3dZrdO12.对所制备的薄膜进行XRD测试、疲劳分析及铁电性能分析.结果表明:对BNT进行B位Zr4+掺杂后,随着掺量的增加,BNTZ薄膜的剩余极化值逐渐增加,当x=6％时达到最大,随后随着Zr掺量的继续增加,剩余极化值开始减小,而矫顽电压Vc值几乎没有什么变化;掺杂了Zr薄膜的疲劳特性均比未掺杂的BNT薄膜的要差一些.
关键词:
薄膜
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溶胶-凝胶法
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B位掺杂
