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钛合金阳极氧化膜的XPS研究

杜志惠 , 崔振铎 , 朱胜利 , 杨贤金

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2009.06.019

利用XPS分析了TCA钛合金经阳极氧化处理后,表面氧化膜的成分和结构及其随深度的变化.研究表明,钛合金阳极氧化膜表面为单一的TiO_2,并以晶态和非晶态的形式存在于氧化膜中.随着氧化膜厚度的增加,内部氧化越来越不充分,TiO_2的含量减少,并逐渐出现Ti:O_3、TiO;并且阳极氧化处理明显增厚了表面氧化膜.

关键词: 钛合金 , 阳极氧化 , XPS