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AlN-SiC固溶体的制备及介电性能

苏晓磊 , 李智敏 , 罗发 , 朱冬梅 , 周万城

材料导报

以碳化硅和铝粉为原料,均匀混合后在不同气氛中于2000℃下保温0.5h制得粉体.用X射线衍射分析(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对其进行表征.同时在8.2~12.4 GHz频率范围内测试其介电性能.结果表明:在N2气氛中,当铝的含量较少时,未出现AlN物相,当铝含量超过10at%时,AlN相开始出现,并且AlN的含量随着铝含量的增加而增加.掺杂铝样品与未掺杂铝样品相比,其介电常数实部ε'和介电损耗tanδ皆降低,且随着铝含量的增加而逐步降低,主要是因为AlN具有较低的介电常数实部和损耗.

关键词: AlN-SiC , 固溶体 , 扩散 , 介电常数

AlN-SiC复合超细粉制备技术的研究进展

步文博 , 徐洁 , 丘泰 , 李晓云

材料导报

综述了国内外AlN-SiC复合超细粉制备方法的研究进展,着重阐述了化学合成法,包括溶胶-凝胶法、碳热还原氮化法、自蔓延高温合成法及化学气相沉积法(CVD)等的研究状况,并对不同制备工艺的优缺点进行了评述.结合本实验室的研究成果,认为原位化学反应合成工艺是今后制备A1N-SiC复合超细粉的发展趋势,并介绍了该领域的最新发展动态.

关键词: AlN-SiC , 复合超细粉 , 固溶体 , 制备工艺

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