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李秋俊 , 冯世娟 , 刘毅 , 赵红 , 赵文伯
功能材料
对蓝宝石衬底上生长的一系列AlxGa1-xN薄膜进行了椭圆偏振光谱研究,得到了薄膜的厚度以及245～1000nm的光学常数;通过有效介质模型计算出Al组分;随着Al组分的增加,折射率n下降,吸收边蓝移,与透射光谱结果一致.
关键词: AlGaN薄膜 , 椭圆偏振光谱 , 光学常数 , Al组分
