管自生
,
路晓
功能材料
利用脉冲激光在Si表面刻蚀微米级四方柱,通过多靶磁控溅射镀膜机在其表面上沉积Al-Ti双层金属膜,然后利用激光诱导金属涂层形变,在四方柱的硅基底上形成定向微渠道,通过测量水与定向微渠道表面的接触角(前进角和后退角)研究各向异性表面浸润性特性.结果表明,在硅基底上构建的Al-Ti金属膜各向异性表面表现出水滴的前进角和后退角都较大,各向异性结构对其浸润性有明显的影响.因此,利用激光可以在固体表面制备各向异性表面, 控制表面的润湿行为.
关键词:
激光刻蚀
,
Al-Ti金属膜
,
各向异性
,
浸润性
