李志贤
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赵彦钊
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张方辉
硅酸盐通报
本文在25 ℃、相对湿度50%的条件下,分别蒸镀了Al,Al/Se薄膜,研究了它们在空气中的导电性能,试验结果表明,只需50 s, Al薄膜的氧化反应已基本完成,其电阻率变化率为24.9%;大约需要2 min,Al/Se薄膜电阻变化率为4.5%,随后其电阻基本处于稳定状态.这主要是因为薄膜边沿和镀Se薄膜时形成的针孔的铝膜首先被氧化,使电阻增加.形成的Al2O3薄膜阻止了反应的继续进行,电阻不再变化.
关键词:
电阻变化率
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稳定性
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Al薄膜
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Al/Se薄膜
