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Au-MgF2与Ag-MgF2靶材制备的实验研究

唐亚陆 , 付兴国 , 张辉 , 张鹏翔 , 陈亮维

贵金属 doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2007.02.007

Au-MgF2与Ag-MgF2薄膜是一种新型复合材料,PLD和磁控溅射是很好的镀薄膜方法.文章介绍了MgF2靶材、Ag-MgF2靶材及Au-MgF2靶材的制备方法.通过实验摸索,得出MgF2靶材的压片条件;通过不同温度下烧结MgF2靶材,得出了MgF2被氧化的初始温度及其烧结的最佳温度和烧结时间;通过与真空炉烧结及氩气保护中烧结对比,获得在空气氛围中烧结MgF2的简易方法.

关键词: 金属材料 , Au-MgF2 , Ag-MgF2 , PLD , 烧结温度 , MgO , XRD检测

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