吴东奇
,
王文文
,
马丁
,
李东亮
,
王聪
功能材料
利用聚苯乙烯（PS）微球模板技术和直流磁控溅射技术在ITO（In2O3∶Sn）薄膜表面进行Ag的微网格修饰,得到具有良好周期性的表面结构。研究了PS微球直径和直流磁控溅射Ag时间对ITO薄膜表面形貌、可见光区透过率、漫反射率和导电性能的影响。实验及分析证明,对ITO表面进行Ag微网格修饰,当微球直径为2μm,溅射时间为30s时,最大可提高薄膜的导电性能19.5%,其漫反射性能可提高200%,同时在可见光区透过率的降低控制在10%以下,这将有助于提高ITO薄膜作为太阳能电池透明电极的陷光性能。
关键词:
ITO薄膜
,
模板技术
,
直流磁控溅射
,
Ag微网格
