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Properties of Resistivity, Reflection and Absorption Related to Structure of ITO Films

材料科学技术（英文）

关键词: ITO薄膜 , 结构性能 , 电阻率 , 吸收峰 , 反射 , 聚对苯二甲酸乙二醇酯 , 溅射功率 , 磁控溅射技术

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