陈向阳
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张瑾
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马胜利
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胡海霞
稀有金属材料与工程
用电弧增强反应磁控溅射方法(AEMS)在高速钢(W18Cr4V)基体上制备出具有耐磨减摩性能的BCN薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)和X射线光电子能谱(XPS)研究了氮含量对薄膜微观结构的影响;用显微硬度计和销盘式摩擦磨损仪研究了薄膜硬度和摩擦学行为.结果表明:用AEMS方法制备的BCN薄膜为非晶结构,薄膜中的B-N键的含量随氮含量增加而增加;薄膜中氮含量的增加使薄膜的硬度和摩擦系数升高,磨损率降低.
关键词:
AEMS
,
BCN薄膜
,
微观结构
,
硬度
,
摩擦系数
陈向阳
,
张瑾
,
马胜利
,
胡海霞
稀有金属材料与工程
用电弧增强磁控溅射(AEMS)装置在高速钢(W18Cr4V)和Si(100)基体上制备了具有TiN过渡层的BCN薄膜,用X射线衍射(XRD)仪和傅里叶红外光谱(FTIR)分析了薄膜的微观结构,用划痕仪测试了薄膜的结合力,用显微硬度计和销盘式摩擦磨损实验仪测试了薄膜的硬度和摩擦学性能.结果表明:本实验条件下制备的具有TiN过渡层的BCN薄膜的硬度为23 GPa,薄膜与GCr15钢球对磨的摩擦系数为0.3,具有TiN过渡层的BCN薄膜的结合力和摩擦学性能较BCN单层薄膜有明显提高.
关键词:
AEMS
,
具有TiN过渡层的BCN薄膜
,
力学性能
郑凤新
材料保护
耐磨、韧性好的超硬薄膜工程应用价值大.采用电弧增强磁控溅射(AEMS)技术在GCr15轴承钢表面制备了纳米复合Si-C-N超硬薄膜,研究了薄膜的形貌、相组成、硬度、韧性和摩擦磨损性能.结果表明:薄膜中纳米SiC与Si3 N4晶体弥散分布于C-C,C=C以及N-C组成的非晶相基体中,形成了纳米晶/非晶复合组织结构,显著提高了薄膜的硬度和韧性,增强了薄膜的抗摩擦磨损性能；薄膜的硬度为(36.5±3.9) GPa,断裂韧性为(4.15±0.28) MPa·m1/2,稳定摩擦系数为0.27左右.
关键词:
AEMS
,
纳米复合Si-C-N超硬薄膜
,
显微结构
,
硬度
,
断裂韧性
,
摩擦系数
