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超导磁通量子比特的电路参数设计

朱冉 , 许伟伟 , 翟计全 , 吉争鸣 , 孙国柱 , 曹春海 , 陈健

低温物理学报

超导量子比特是目前最有竞争力的量子比特之一，本文讨论了影响量子比特电路性能的主要参数，分析了超导量子干涉仪（SQUID）的势能函数形状及势垒高度与势阱中所包含的能级数目的关系，由此给出了实现磁通超导量子比特相应的电路框图及主要参数的设计值．针对悬空掩膜斜蒸发制Al／Al2O3／Al隧道结工艺，设计了光刻版图．

关键词: 超导磁通量子比特 , SQUID , Al , Al2O3 , A1隧道结