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化学气相沉积法ZnS块材料的生长

憨勇 , 郑修麟 , 刘正堂

无机材料学报

本文用化学气相沉积法制备了ZnS薄膜和块材料；观察了ZnS在具有不同表面粗糙度的石墨和石英基体上的成核和长大行为；研究了沉积温度、H₂S和Zn蒸汽流量对ZnS生长速率的影响规律．

关键词: 化学气相沉积 , zinc sulphide , crystal growth