毛卫民
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朱宏喜
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陈冷
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冯惠平
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吕反修
无机材料学报
采用背散射电子取向成像、扫描电镜、X射线衍射等手段研究了CVD自支撑金刚石膜的宏观织构、微观组织及晶粒取向的演化过程. 薄膜制备时的气氛纯度较低, 这是引起本文金刚石膜中发现大量孪晶的一个重要原因. 杂质原子会降低金刚石的层错能, 从而降低孪晶界的形成障碍, 促进孪晶生成. 频繁的孪晶导致{100}织构转向{122}织构, 并弱化薄膜织构, 使性能趋向各向同性. {110}取向的晶粒孪晶后仍具有{110}取向, 因而在多重孪晶出现时仍可保持一定的稳定性.
关键词:
金刚石膜
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texture
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microstructure
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twins
