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表面改性对氮化硅浆料固含量的影响

刘学建 , 黄莉萍 , 古宏晨 , 张兆泉 , 符锡仁

无机材料学报

本文通过酸洗工艺对Si粉体进行了表面改性,并研究了表面改性对粉体胶体特性及其浆料流动性的影响.结果表明:酸洗处理之后悬浮粒子的等电点升高,XPS表面分析表明这是粉体表面氧化程度降低的缘故.而且,由于酸洗处理有效地提高了粒子的Zeta电位,因而浆料的流动性明显得到改善,其最高固含量也由50vol.%提高到55vol.%,并制备出了固含量为53vol.%的、适于浇注的Si浆料.

关键词: 氮化硅 , acid leaching , surface modification , slurry , solid loading

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