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纳米TiO₂膜的制备及电学性能研究

王浚 , 高濂 , 宋哲 , 周伟

无机材料学报

本文通过采用丝网印刷法制备了以)α－Al₂O₃基片为衬底的纳米和微米级TiO₂厚膜，气敏性测试表明，纳米TiO₂膜的电阻略高于微米TiO₂膜，在实验温度范围内，电阻随氧分压的变化率明显高于微米膜，同时还以XRD，SEM对膜材料的结构和形貌进行了表征．

关键词: 纳米TiO₂ , resistance , gas sensitivity , sensor , thick film