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PLD法制备TiO₂薄膜及电阻转变特性研究

曹逊 , 李效民 , 于伟东 , 张亦文

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00049

采用脉冲激光沉积法（PLD），以Pt(111)/Ti/SiO₂/Si为衬底，制备了具有电阻转变特性的TiO₂薄膜.X射线衍射（XRD）分析未发现明显的TiO₂结晶峰，薄膜呈纳米晶或非晶态.扫描电子显微镜（SEM）及原子力显微镜（AFM）分析表明，TiO₂薄膜表面平整、光滑致密.电学测试结果表明，TiO₂薄膜具有明显的单极性电阻转变特性，高低阻态比值达到10⁴.高阻态下薄膜的导电过程可用空间电荷限制电流模型解释，过程中存在软击穿现象.在此基础上，对薄膜中丝导电通道的产生及熔断过程进行了初步分析.

关键词: 脉冲激光沉积法 , unipolar , resistive switching behaviors , titanium oxide films

Ti/La_0.7Ca_0.3MnO₃/Pt结构器件中“负”电阻开关特性研究

刘新军 , 李效民 , 王群 , 杨蕊 , 曹逊 , 陈立东

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00151

以Pt/Ti/SiO₂/Si为衬底, 制备了具有电阻转变特性的Ti/La_0.7Ca_0.3MnO₃(LCMO)/Pt结构器件. X射线衍射分析表明LCMO薄膜呈纳米晶或非晶态, 扫描电子显微镜及原子力显微镜分析表明LCMO薄膜表面平整、光滑致密. 电学测试结果表明Ti/LCMO/Pt结构具有明显的双极型“负”电阻转变特性, 低电阻态的导电过程为空间电荷限制电流机制, 高电阻态的导电过程为Poole-Frenkel发射机制. 利用氧化还原反应的随机性和TiO_x中间层空间分布的不均匀性, 定性地解释了高电阻态的不稳定性以及电流电压曲线上的电流突变现象.

关键词: 脉冲激光沉积法 , resistive switching behaviors , electric-pulseinduced resistance switching , manganite films

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