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PECVD法淀积氟碳掺杂的氧化硅薄膜表征

丁士进 , 张庆全 , 张卫 , 王季陶

无机材料学报

以正硅酸乙酯(TEOS)和八氟环丁烷(C4F8)为原料,采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法制备了氟碳掺杂的氧化硅薄膜(SiCOF).样品的X射线光电子能谱(XPS)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明薄膜中含有Si-F、Si-O、C-F、C-CF、CF2等构型.刚淀积的薄膜的折射率约为1.40.对暴露在空气中以及在不同温度下退火后薄膜的折射率做了测量,并对其变化机理进行了讨论,同时表明了理想的淀积温度应是300℃.

关键词: 等离子体增强化学气相淀积 , SiCOF film , XPS , FTIR , refractive index

Pb1-xSrxSe薄膜材料的微结构和光学特性

王擎雷 , 吴惠桢 , 斯剑霄 , 徐天宁 , 夏明龙 , 谢正生 , 劳燕锋

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.01108

采用分子束外延的方法在BaF2衬底(111)上制备出了高质量的Pb1-xSrxSe (0≤ x≤0.050)薄膜. X射线衍射结果表明, Pb1-xSrxSe 薄膜为立方相NaCl型晶体结构, 没有观察到SrSe相分离现象, 薄膜的取向为平行于衬底(111)晶面. 薄膜晶格常数随Sr含量的增加逐渐增大, Sr含量由Vegard公式得到. 再用理论模拟Pb1-xSrxSe 薄膜透射光谱的方法得到了相应的带隙. 最后通过介电函数模型拟合得到了PbSe和Pb1-xSrxSe 薄膜在光子能量位于基本带隙附近的折射率n和吸收系数α.

关键词: Pb1-xSrxSe 外延薄膜 , transmission spectrum , refractive index , absorption coefficient

等离子体源增强磁控溅射沉积Al2O3薄膜研究

雷明凯 , 袁力江 , 张仲麟

无机材料学报

采用电子回旋共振微波等离子体源增强磁控溅射沉积氧化铝薄膜.X射线光电子谱和X射线衍射分析表明,在600℃沉积温度下,Si(100)基片上获得了亚稳的具有化学计量配比成分、面心立方结构的γ-Al2O3薄膜.薄膜的折射率为1.7,与稳定的α-Al2O3体材料相当.

关键词: 氧化铝薄膜 , plasma source , magnetron sputtering , refractive index

GeS2-Ga2S3-AgCl玻璃的光学特性研究

范鑫烨 , 徐铁峰 , 沈祥 , 戴世勋 , 聂秋华 , 王训四 , 陈飞飞

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00191

采用熔融淬冷法制备了摩尔组成为(100-x)(0.85GeS2-0.15Ga2S3)-xAgCl(x=0,5,10,15,20)硫卤玻璃, 测试了样品的密度、转变温度、析晶温度、可见到中远红外透过光谱、吸收光谱以及折射率参数, 根据Z扫描测试原理用钛宝石飞秒激光器测试了样品的三阶非线性特性. 利用经典的Tauc方程计算了样品光学带隙允许的直接跃迁、允许的间接跃迁及Urbach能量.讨论了玻璃的摩尔折射度、金属标准值、光学带隙、Urbach能量对玻璃样品折射率的影响.结果表明:该系统玻璃具有较宽光谱, 从可见到中远红外透过区域(0.46~11.50)μm,可作为潜在的多光谱成像材料.随AgCl含量的增加, 玻璃的折射率随着摩尔折射度增大而增大, 金属标准值、光学带隙与Urbach能量有减小的趋势, 而玻璃的三阶非线性性能得到明显提高.

关键词: 硫卤玻璃 , optical band gap , refractive index , Urbach energy , thirdorder nonlinearity

水热合成法制备纳米CeO2薄膜及其抗紫外性能研究

刘连利 , 刘玉静 , 孙彤 , 徐姝颖 , 王莉丽 , 周丽

稀有金属材料与工程

以硝酸铈和尿素为原料,采用水热合成法在玻璃基底上制备了具有高反射率和良好抗紫外性能的CeO2薄膜,并采用SEM、XRD、FT-IR、椭圆偏振仪和UV-vis对薄膜和同时制备的粉体进行了表征,研究了Ce(Ⅲ)浓度和尿素加入量对薄膜的影响.结果表明,当Ce(Ⅲ)浓度和尿素加入量较小时,薄膜光滑且沉积颗粒较小,沉积颗粒是CeO2和Ce(CO3)2O·H2O晶体,且玻璃基底中的Si参与了水热反应.薄膜致密度和化学组成影响其反射率,随着Ce(Ⅲ)浓度和尿素加入量增加,由于薄膜厚度和半导体复合的影响,其吸光度和吸收边波长增大,最佳的Ce(Ⅲ)浓度是0.008 mol/L,尿素加入量是0.06 g.

关键词: 氧化铈薄膜 , 水热合成 , 反射率 , 紫外

PbWO4晶体的太赫兹光谱

孙桂芳 , 王雅丽 , 钱霞 , 侯碧辉

人工晶体学报

测量了室温下钨酸铅(PbWO4,PWO)晶体在0.1~3 THz的太赫兹时域光谱.分析表明:在0.2~0.9THz范围内,晶体的吸收系数小于30 cm-,有较好的透射性,在0.4 ~0.6 THz有一个较弱的泛频共振吸收峰;折射率在2~6之间变化,0.36 ~0.9 THz是一个明显的反常色散区域;根据光学常数之间的关系,计算得到介电函数曲线,介电函数实部值在4 ~38之间变化,在0.36 THz处有明显的突变尖峰;介电函数虚部随频率升高从0.7下降到0.3.

关键词: 太赫兹时域光谱 , 钨酸铅晶体 , 折射率 , 介电函数

Sb对GeSbxSe7-x硫系玻璃的结构和物性的影响

魏文猴 , 方亮 , 杨志勇 , 沈祥

无机材料学报 doi:10.15541/jim20140097

采用熔融-淬冷法制备了GeSbxSe7-x0=0.4、0.8、1.2、1.6、2.0)系列硫系玻璃,并系统地研究了Sb对玻璃结构和物理性能的影响.拉曼光谱测试结果显示,随着Sb含量增加,玻璃结构逐渐从由Se链或Se环主导转变为由交联的SbSe3/2三角锥结构单元和GeSe4/2四面体结构单元主导,玻璃网络交联程度增加.同时,玻璃的转变温度、密度、弹性模量和折射率都随着Sb含量的增加而增大.透过光谱研究表明,随着Sb逐渐替换Se原子,光学带隙逐步减小.

关键词: Ge-Sb-Se , 硫系玻璃 , 拉曼光谱 , 弹性模量 , 折射率 , 玻璃转变

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