沈沪江
,
王林军
,
黄健
,
徐闰
,
史伟民
,
夏义本
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2009.01254
采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）方法制备了100μm米厚高质量(100)定向金刚石薄膜. 利用(100)定向金刚石薄膜成功制备了α粒子探测器, -100V偏压下电荷平均收集效率为37.7%, 最大的电荷收集效率达到60%以上. 在此基础上, 通过在...
关键词:
金刚石薄膜
,
radiation detector
,
photoelectrical properties
