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立体微型器件的微制造技术及其在微机电系统(MEMS)的应用

李敬锋

无机材料学报

综述了近年来与微型机电系统(MEMS)相关的材料微制造和微加工技术的最新研究进展.重点介绍了如何利用硅晶片作为微型模具来制备压电陶瓷和热电材料的微型柱状阵列结构和反应烧结碳化硅微型转子等微制造技术,并展望了材料微制造技术在研制微型医疗器件和微型移动能源方面的应用前景.

关键词: MEMS , microfabrication , microscale materials processing , microdevice , piezoelectric , thermoelectric

硅掺杂PMS-PZT材料的晶界行为对畴结构和压电性能的影响

朱志刚 , 李宝山 , 李国荣 , 郑嘹赢 , 殷庆瑞

无机材料学报

运用XRD、TEM、EDS等实验手段,研究了Si离子掺杂对PMS-PZT材料的相结构、微观结构以及电畴形貌的影响.XRD测试结果表明,所有材料都显示钙钛矿结构,四方度(c/a)随着掺杂量的增加而增大.TEM研究结果表明,随着Si离子掺杂量的增加,电畴的形貌由鱼刺型过渡到微米级的带状畴,最后转变为波浪状的电畴.EDS表明在材料的晶界处含有纳米级的SiO2和PbSiO3,并且发现单斜晶系的孪晶ZrO2在晶界附近析出.本文对孪晶ZrO2的析出及其析出量随着硅离子含量增加而增加的原因作了解释,最后对材料压电性能的降低进行了探讨.

关键词: 锑锰锆钛酸铅 , TEM , piezoelectric , domain structure

PBLZT弛豫铁电陶瓷的动态及偏压介电和压电特性

伍建新 , 庄志强

无机材料学报

测量了3mol%Ba掺杂的PLZT10/65/35弛豫铁电陶瓷的电滞回线、横向场诱应变、偏压下的介电常数和压电常数,并根据电滞回线和场诱应变曲线的斜率计算了动态介电常数和压电常数.实验表明,电场<8kV/cm时,动态介电常数比偏压介电常数大很多,电场>8kV/cm时,差值随电场增大而减小;电场在3~15kV/cm之间时,动态压电常数比偏压压电常数大很多,电场<3kV/cm及>15kV/cm时,动态压电常数和偏压压电常数相差不大.

关键词: 介电 , piezoelectric , dynamic , DC bias , relaxor ferroelectric ceramic

烧结温度对PMS-PZT系陶瓷显微结构和压电性能的研究

朱志刚 , 李宝山 , 李国荣 , 张望重 , 殷庆瑞

无机材料学报

研究了不同烧结温度对Pb(Mn1/3Sb2/3)O3-PbZrO3-PbTiO3(PMS-PZT)系压电陶瓷显微结构和压电性能的影响.实验结果表明:在1240℃、2h条件下烧结,能获得最优的综合性能:εr=1530、d33=374、Kp=0.6、tanδ=0.41%、Qm=1250,可以满足压电变压器和超声马达等大功率场合下的使用要求.与此同时,当烧结温度为1100-1150℃时,材料仍然具有良好的压电性能:εr=1370、d33=348、Kp=0.57、tanδ=0.62%、Qm=1620(1150℃),因此可以作为中低温烧结的多层器件用厚膜材料.高温显微镜、SEM、TEM和EDS等研究表明,PMS-PZT系陶瓷具有很宽的烧结温度区域,特别是中低温烧结时仍能成瓷并具有高的压电性能,主要是因为PbO和Sb2O5在较低烧结温度下(1100℃)能够形成过渡液相促进陶瓷烧结,随着烧结温度的升高,它们能够重新进入晶格形成单一钙钛矿结构.

关键词: 锑锰锫钛酸铅 , piezoelectric , sintering temperature , liquid phase

微波水热法制备KNbO3粉体及其性能研究

秦波 , 谈国强 , 苗鸿雁 , 夏傲 , 程蕾

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.10925

以氢氧化钾(KOH)和五氧化二铌(Nb2O5)为原料, 通过微波水热法在200℃下合成出具有不同晶相、形貌的铌酸钾粉体(KNbO3). 当KOH浓度在10~14mol/L时, 可以制备出纯相的KNbO3粉体. X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)和透射电镜(TEM)分析可知, KOH浓度由10mol/L增大到15mol/L时, KNbO3粉体由斜方六面体变为正交相, 再转变为四方相, 对应的形貌也由金字塔状变为棒状, 再转变为立方状. 当KOH浓度增大到15mol/L时, 出现了Nb2O5杂相. 常压烧结制备了KNbO3陶瓷, 其介电常数达到302, 介电损耗为0.023,  压电常数达到80 pC/N, 平面机电耦合系数为0.17, 机械品质因数为70, 居里温度为420℃, 正交?四方相变温度为223℃.

关键词: 铌酸钾 , microwave-assisted hydrothermal synthesis , piezoelectric , dielectric

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