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反应自生成AlN传质过程的研究

王群 , 王文忠 , 高钦 , 沈玉辉 , 陈建峰

无机材料学报

根据反应自生成AIN的传质及生长特征，构造出传质模型，并建立了传质方程.分析表明：整个反应过程分AlN晶体生长并伴随Si元素富集及AlN、Si_cry，晶体共生两个阶段进行;N原子的扩散传质速率是控制总反应速率的关键因素.

关键词: AlN , nitridation reaction , mass transfer , growth