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铌表面固体粉末包埋渗硅研究

李明 , 宋力昕 , 乐军 , 宋学平 , 郭占成

无机材料学报

采用固体粉末包埋渗硅工艺在铌表面制备了二硅化铌涂层,研究了渗硅过程中Si沉积的反应机理和二硅化铌涂层的结构.结果表明:涂层由单相的二硅化铌组成;Si的输运和沉积主要依靠硅的低氟化物SiF₂完成.

关键词: 渗硅 , coating , niobium , niobium disilicide