材料期刊网

XPS数据处理的曲线拟合组合算法及检验

龚沿东

金属学报

本文针对ＸＰＳ（Ｘ射线光电子能谱）数据处理中线型选择的问题作出了一个新改进，在曲线拟合过程中应用了一个卷积线型。新算法被称为＂组合算法＂对Ｃｕ标样３ｐ谱和Ｆｅ－Ｍｎ－Ａｌ合金钝化膜Ｏｌｓ谱的拟合表明，它比选择Ｇａｕｓｓ－Ｌｏｒｅｎｔｚ积函数（ＧＬＰ）或Ｇａｕｓｓ－Ｌｏｒｅｎｔｚ和函数（ＧＬＳ）更为准确和有效

关键词: ＸＰＳ , line shape of XPS , combination algorithm