冯丽萍
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刘正堂
无机材料学报
蓝宝石具有一系列优异的光学和力学性能, 使其成为红外透过窗口与头罩中备受青睐的材料. 然而随温度的升高蓝宝石沿c轴的抗压强度急剧降低, 大大限制了蓝宝石的抗热震等许多
性能. 提高蓝宝石高温强度的研究已成为蓝宝石在高速、高温应用中一个亟待解决的重要课题. 本文采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石衬底上制备了SiO2涂层. 利用三点弯曲法测
试了镀膜及未镀膜蓝宝石试样的室温及高温抗弯强度, 测量了镀膜前后蓝宝石试样的表面形貌及粗糙度, 采用压痕裂纹法分析了镀膜前后蓝宝石的表面残余应力. 结果表明, 镀SiO2
薄膜可以改善蓝宝石的表面形貌, 降低表面粗糙度, 同时改变蓝宝石的表面应力. 在800℃, 镀膜蓝宝石的抗弯强度是未镀膜蓝宝石的1.5倍.
关键词:
蓝宝石
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SiO2 film
,
surface morphology
,
high-temperature strength
