材料期刊网

溶胶—凝胶法制备YBCO超导薄膜微细图形

张黄莉 , 赵高扬 , 彭海军

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00192

以甲醇为溶剂，以醋酸铜、醋酸钇和醋酸钡为起始原料，二乙烯三胺、三氟乙酸、丙烯酸为添加剂，采用溶胶-凝胶法制备了具有紫外感光性的YBCO溶胶及其凝胶薄膜，其紫外吸收峰在250nm附近，对应于铜络合物的电子跃迁吸收，随着紫外光的照射，其峰值逐渐降低，凝胶在有机溶剂中的溶解性也发生变化，显示了凝胶薄膜的紫外感光性.基于这一特性，本文提出了一种YBCO 超导薄膜图形制备新方法，即利用凝胶薄膜自身的紫外感光性，使紫外光通过掩模照射薄膜，然后在甲醇中溶洗，进一步热处理，得到了YBCO超导薄膜图形.结果表明，图形化的YBCO薄膜具有较强的c轴取向，超导转变温度T_C达到92K.

关键词: YBCO , sol-gel , photosensitivity , fine pattern